Der Betriebsbereich einer Diffusionspumpe liegt normalerweise zwischen 1 x 10-3 Torr und 5 x 10-9 Torr. Das bedeutet, dass sie in der Lage ist, innerhalb dieses Bereichs ein hohes Vakuum zu erzeugen. Diffusionspumpen sind für ihre Langlebigkeit und Zuverlässigkeit bekannt, da es keine beweglichen Teile gibt. Der Betrieb einer Diffusionspumpe hängt von zwei Hauptelementen ab: dem Diffusionspumpenöl und einem Heizer. Das Heizgerät erhitzt das Öl, wodurch es verdampft und aufsteigt. Der aufsteigende Öldampf wird dann in einem vertikal verjüngten Stapel mit Düsenöffnungen komprimiert, wodurch ein Dampfschirm entsteht, der die Luft einfängt.
Was die Leistung des Ofens betrifft, so kann ein Ofen mit Diffusionspumpe ein Endvakuum im Bereich von 10-6 Torr erreichen. Das Betriebsvakuum mit einer Diffusionspumpe liegt normalerweise im Bereich von 10-5 Torr. Die Abpumpzeit bis zum Erreichen des Hochvakuums beträgt etwa 10 Minuten, während die Abpumpzeit bis zum Erreichen von 1 x 10-4 Torr etwa 15 Minuten beträgt. Für einen ordnungsgemäßen Betrieb sollte die Leckrate des Ofens weniger als 5 Mikrometer pro Stunde betragen.
Zu den Komponenten des Vakuumsystems einer Diffusionspumpe gehört in der Regel eine mechanische Pumpe oder ein mechanisches Pumpen-/Gebläsesystem für die erste Vakuumstufe. Bei einem Druck von weniger als 20 Torr beginnt die Effizienz einer mechanischen Pumpe zu sinken, und es wird eine Booster-Pumpe eingesetzt. Die Diffusionspumpe wird zwischen 10 und 1 Mikron in das Pumpsystem eingeschaltet, so dass das System bis zum Hochvakuum und darunter pumpen kann. Die Diffusionspumpe hat keine beweglichen Teile und arbeitet, indem sie das Öl verdampft, es kondensiert und die Gasmoleküle durch das Pumpsystem absaugt. Eine Haltepumpe wird eingesetzt, um einen höheren Druck in der Vorlaufleitung zu erzeugen, damit das Öl in der Diffusionspumpe nicht in den Behälter entweicht.
Die Wartung einer Diffusionspumpe umfasst die Sicherstellung eines angemessenen Ölstands und die Gewährleistung der Betriebsbereitschaft des Heizelements. Bei dem Heizelement handelt es sich in der Regel um ein rohrförmiges Element, das von einer Druckplatte gegen die Kesselplatte gehalten wird, die mit Hilfe von Gewindebolzen an der Pumpe auf die Klemmplatte ausgerichtet wird. Die korrekte Ausrichtung ist für einen effizienten Betrieb entscheidend.
Insgesamt werden Diffusionspumpen aufgrund ihrer Langlebigkeit, Zuverlässigkeit und ihrer Fähigkeit, hohe Vakuumniveaus zu erzeugen, häufig in industriellen Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung, Beschichtungen und Vakuumöfen eingesetzt.
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