Die Temperatur des PVD-Verfahrens liegt normalerweise zwischen 50 und 600 Grad Celsius.
Dieser Temperaturbereich ist für die Verdampfung von Metallen und anderen Elementen erforderlich.
Diese Elemente werden dann auf einem geeigneten Substrat wieder abgeschieden, um dünne Filme und Beschichtungen zu bilden.
Welche Temperatur verwendet wird, hängt von dem zu verdampfenden Material und den gewünschten Eigenschaften der Beschichtung ab.
5 wichtige Punkte, die man über die Temperatur des PVD-Verfahrens wissen sollte
1. Temperaturbereich für die Verdampfung
Das PVD-Verfahren wird in einer Kammer mit einer kontrollierten Atmosphäre bei reduziertem Druck durchgeführt.
Dieser Druck liegt normalerweise zwischen 0,1 und 1 N/m².
2. Line-of-Sight-Beschichtung
Diese Umgebung erleichtert die "Sichtlinien"-Abscheidungsmethode.
Die Atome des festen Materials durchqueren die Kammer und betten sich in die Objekte auf ihrem Weg ein.
Um eine gleichmäßige Beschichtung zu erreichen, muss das Objekt während des Abscheidungsprozesses richtig in der Kammer positioniert werden.
3. Arten von PVD-Techniken
Es gibt drei Hauptarten von PVD-Verfahren: thermisches Verdampfen, Sputtern und Ionenplattieren.
Bei der thermischen Verdampfung wird ein Material erhitzt, um einen Dampf zu bilden, der auf einem Substrat kondensiert und die Beschichtung bildet.
Diese Erhitzung kann durch verschiedene Methoden erfolgen, z. B. durch Heißdraht, elektrischen Widerstand, Elektronen- oder Laserstrahlen und Lichtbogen.
4. Sputtern und Ionenplattieren
Sputtern und Ionenplattieren sind weitere Verfahren, die ebenfalls innerhalb der spezifizierten Temperatur- und Druckbedingungen des PVD-Prozesses arbeiten.
5. Merkmale des PVD-Verfahrens
Insgesamt zeichnet sich das PVD-Verfahren durch einen niedrigen Druck (Hochvakuum) und vergleichsweise niedrige Temperaturen aus.
Dies führt zu sehr dünnen Beschichtungen, in der Regel im Bereich von 1 bis 10 µm.
Diese Beschichtungen werden für verschiedene Anwendungen eingesetzt, z. B. zur Verbesserung der Verschleißfestigkeit von Stahlwerkzeugen durch Abscheidung von Materialien wie Titannitrid.
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