Diamantbeschichtungen werden hauptsächlich durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) hergestellt.
Es gibt spezielle Verfahren wie Mikrowellenplasma-CVD (MPCVD), Gleichstrombogenplasmasprüh-CVD (DAPCVD) und Heißdraht-CVD (HFCVD).
Von diesen Verfahren wird HFCVD aufgrund seiner Kosteneffizienz und seiner Fähigkeit, gleichmäßige Diamantschichten auf großen Flächen zu erzeugen, für industrielle Anwendungen besonders bevorzugt.
Die 7 wichtigsten Schritte werden erklärt
1. Prinzip der chemischen Heißfilament-Gasphasenabscheidung (HFCVD)
Bei der HFCVD wird eine Niederdruck-Gasphasenreaktion bei hohen Temperaturen eingeleitet.
Bei diesem Verfahren reagieren Kohlenwasserstoffe bei hohen Temperaturen chemisch, um Vorläuferschichten zu erzeugen.
Wenn die Temperatur des Substrats optimal ist, lagern sich diese Vorstufen auf der Oberfläche ab und bilden einen Diamantfilm.
Der entstehende Film zeichnet sich durch seine einheitliche Dicke und Zusammensetzung sowie seine dichte Struktur aus.
2. Verschiedene Arten von Diamantbeschichtungen
Diamantbeschichtungen werden auf der Grundlage ihrer Korngröße in vier Typen eingeteilt: ultrananokristalliner Diamant (UNCD, <10 nm), nanokristalliner Diamant (NCD, 10-200 nm), submikrokristalliner Diamant (200-1000 nm) und mikrokristalliner Diamant (MCD, >1 µm).
Die Zusammensetzung der Gasphase, insbesondere das Verhältnis von Methan zu Wasserstoff, hat einen erheblichen Einfluss auf die Keimbildung und das Wachstum dieser Schichten.
So fördert ein hoher Methangehalt (>4 %) hohe Sekundärkeimbildungsraten, was zu feineren Korngrößen führt, während ein geringerer Methangehalt (<2 %) zu größeren Korngrößen führt.
3. Qualität der Diamanten
Die Qualität von Diamantbeschichtungen wird mit Hilfe der Raman-Spektroskopie bewertet.
Der Peak bei 1332 cm-1 weist auf das Vorhandensein von natürlichem Diamant hin, während die Peaks bei 1550 cm-1 und 1350 cm-1 auf amorphen Kohlenstoff (sp2) hinweisen.
Mit abnehmender Korngröße wird der Diamant-Peak breiter und der sp2-Gehalt nimmt zu, was sich auf die Materialeigenschaften auswirkt.
Darüber hinaus lassen sich weitere spektroskopische Merkmale beobachten, die weitere Einblicke in die Struktur und Qualität der Beschichtung geben.
4. Eigenschaften von Diamantbeschichtungen
Diamantbeschichtungen verfügen über außergewöhnliche Eigenschaften wie hohe Härte, Verschleißfestigkeit, geringe Reibung und hohe Wärmeleitfähigkeit.
Diese Eigenschaften prädestinieren sie für verschiedene Anwendungen in der Materialwissenschaft, Technik, Chemie und Biologie.
Ihre dünnen und ultradünnen Formen sind aufgrund ihrer hohen Transparenz und mechanischen Robustheit besonders nützlich für optische Geräte, Solarzellen und transparente Elektroden.
5. Diamantbeschichtete CVD-Schleifwerkzeuge
Das CVD-Verfahren wird auch zur Herstellung von Diamantschleifschichten auf Werkzeugen eingesetzt.
Dabei werden massive Diamantschichten direkt auf dem Substrat abgeschieden, was zu einer scharfkantigen Rauheit führt, die die Schleiffähigkeit des Werkzeugs verbessert.
Das Verfahren verwendet Methan als Kohlenstoffquelle und erfordert hohe Temperaturen zur Aktivierung, die in der Regel durch heiße, nahe der Substratoberfläche angeordnete Fäden erreicht werden.
6. Vorbereitung der Werkzeuge für die Beschichtung
Vor der Beschichtung werden die Wolframkarbid-Werkzeuge sorgfältig vorbereitet.
Dazu gehören die Reinigung und eine zweistufige chemische Behandlung, um die Oberfläche für eine bessere Haftung aufzurauen und Kobalt zu entfernen, das das Diamantwachstum hemmt.
7. Gesamteffizienz des Verfahrens
Insgesamt bietet das CVD-Verfahren, insbesondere das HFCVD-Verfahren, eine vielseitige und effiziente Methode zur Herstellung hochwertiger Diamantbeschichtungen, die sich für eine breite Palette industrieller und wissenschaftlicher Anwendungen eignen.
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