Die Elektronenstrahlverdampfung ist ein Verfahren, bei dem eine breite Palette von Materialien verwendet wird, darunter Metalle, Keramiken und Dielektrika.
Diese Materialien werden ausgewählt, weil sie einen hohen Schmelzpunkt haben, der für die Abscheidung dünner Schichten auf verschiedenen Substraten unerlässlich ist.
7 Schlüsselmaterialien erklärt
1. Traditionelle Metalle
Zu den herkömmlichen Metallen, die bei der Elektronenstrahlverdampfung verwendet werden, gehören Aluminium, Kupfer, Nickel, Titan, Zinn und Chrom.
2. Edelmetalle
Edelmetalle wie Gold, Silber und Platin werden ebenfalls häufig in diesem Verfahren verwendet.
3. Refraktäre Metalle
Refraktärmetalle wie Wolfram und Tantal werden aufgrund ihrer Fähigkeit, extrem hohen Temperaturen standzuhalten, ausgewählt.
4. Andere Werkstoffe
Zu den anderen Materialien gehören Indiumzinnoxid und Siliziumdioxid, die für bestimmte Anwendungen verwendet werden.
5. Trägermaterialien
Die Substrate, auf die diese Materialien aufgebracht werden, können sehr unterschiedlich sein.
Gängige Substrate sind Silizium-, Quarz- und Saphirwafer für die Elektronik und Siliziumnitrid für die Keramik.
Auch Glas wird verwendet, insbesondere für Anwendungen wie Solarpaneele und Architekturglas.
6. Systemkomponenten
Die E-Beam-Verdampfung umfasst mehrere Schlüsselkomponenten:
- Vakuumkammer: Diese ist für die Aufrechterhaltung einer sauberen Umgebung und die Vermeidung von Verunreinigungen unerlässlich.
- Elektronenstrahlquelle: In der Regel ein Glühfaden aus Wolfram, der Elektronen freisetzt, die von Magneten zu einem Strahl gebündelt werden.
- Tiegel: Dieser enthält das Ausgangsmaterial und kann je nach Temperaturanforderungen aus Kupfer, Wolfram oder technischer Keramik bestehen.
7. Benachteiligungen
Trotz ihrer Vorteile erfordern E-Beam-Verdampfungssysteme hohe Spannungen, die gefährlich sein können und umfangreiche Sicherheitsvorkehrungen erforderlich machen.
Außerdem können die Einrichtung und Wartung dieser Systeme komplex und kostspielig sein.
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