Wenn es um die Abscheidung von Aluminium (Al) mit Hilfe eines Sputtersystems geht, ist das Trägergas der Wahl in der Regel Argon (Ar).
Argongas wird häufig als Sputtergas in der Sputterkammer verwendet.
Dieses Gas erzeugt ein Plasma, das das Zielmaterial, wie z. B. Aluminium, beschießt.
Durch den Beschuss werden Atome aus dem Aluminiumtarget in das Vakuum geschleudert.
Diese Aluminiumatome werden dann auf dem Substrat abgeschieden und bilden eine dünne Schicht.
Als Trägergas wird vorzugsweise Argon verwendet, da es inert ist und nicht mit dem Zielmaterial chemisch reagiert.
Außerdem liegt das Atomgewicht von Argon nahe an dem von Aluminium.
Diese Ähnlichkeit im Atomgewicht ermöglicht eine effiziente Impulsübertragung während des Sputterprozesses.
Welches Gas wird als Trägergas für die Abscheidung von Aluminium im Sputtering-System verwendet? (3 Schlüsselpunkte)
1. Argongas als Sputtergas
Argongas ist die Standardwahl für das Sputtergas in der Sputterkammer.
2. Plasmaerzeugung und Targetbeschuss
Das Argon-Gas erzeugt ein Plasma, das das Aluminium-Target beschießt.
Durch diesen Beschuss werden Aluminiumatome in das Vakuum geschleudert.
3. Effizienter Impulstransfer
Das Atomgewicht von Argon liegt nahe bei dem von Aluminium, was eine effiziente Impulsübertragung während des Sputterprozesses ermöglicht.
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