Das üblicherweise als Trägergas für die Abscheidung von Aluminium (Al) mit dem Sputtering-System verwendete Gas ist Argon (Ar). Argongas wird in der Regel als Sputtergas in der Sputterkammer verwendet, wo es ein Plasma erzeugt, das ein Zielmaterial, wie z. B. Aluminium, beschießt, um die Atome des Materials in das Vakuum zu schleudern. Die Atome aus dem Aluminiumtarget werden dann auf dem Substrat abgeschieden und bilden eine dünne Aluminiumschicht. Als Trägergas wird vorzugsweise Argon verwendet, da es inert ist und nicht mit dem Targetmaterial chemisch reagiert. Außerdem liegt das Atomgewicht von Argon nahe an dem von Aluminium, was eine effiziente Impulsübertragung während des Sputterprozesses ermöglicht.
Rüsten Sie Ihr Sputtersystem mit KINTEK auf! Wir bieten hochwertiges Argon-Gas für eine effiziente und präzise Al-Abscheidung. Maximieren Sie Ihre Ergebnisse mit unseren zuverlässigen und erschwinglichen Laborgeräten. Kontaktieren Sie uns jetzt und bringen Sie Ihre Forschung auf die nächste Stufe!
