Thermische Verdampfungsquellen sind für die Ablagerung verschiedener Materialien unerlässlich.
Zu diesen Quellen gehören vor allem Schiffchen, Körbe, Fäden und beschichtete Stäbe.
Sie werden in der Regel aus Materialien wie Wolfram, Tantal oder Molybdän hergestellt.
Die Heizmethoden für diese Quellen sind entweder die Glühfadenverdampfung oder die Elektronenstrahlverdampfung (E-Beam).
5 Haupttypen erklärt
1. Boote
Boote sind ein gängiger Typ von thermischen Verdampfungsquellen.
Es gibt sie in verschiedenen Größen.
Größere Boote benötigen im Allgemeinen eine höhere Leistung für die gleiche Abscheidungsrate.
Sie können jedoch höhere maximale Abscheidungsraten erreichen.
2. Filament-Verdampfung
Bei der Filamentverdampfung wird ein einfaches elektrisches Heizelement verwendet.
Diese Methode ist einfach und beruht auf dem Widerstand des Heizfadens, um Wärme zu erzeugen.
3. E-Beam-Verdampfung
Bei der E-Beam-Verdampfung wird ein Elektronenstrahl verwendet, um das Ausgangsmaterial direkt zu erhitzen.
Diese Methode ist besonders nützlich für Materialien, die feuerfest sind oder höhere Temperaturen zum Verdampfen benötigen.
4. Dünnschicht-Verdampfungssysteme
Dünnschichtverdampfungssysteme bieten Vorteile wie hohe Abscheidungsraten.
Sie ermöglichen auch eine Echtzeitkontrolle der Rate und der Schichtdicke.
Eine gute Richtungssteuerung des Verdampferstroms ist bei Verfahren wie Lift Off von Vorteil, um direkt strukturierte Beschichtungen zu erzielen.
5. Materialien für die thermische Verdampfung
Zu den Materialien für die thermische Verdampfung gehören verschiedene Stoffe wie Gold, Silber, Titan, Siliziumdioxid, Wolfram und Kupfer.
Diese Materialien können bei Temperaturen nahe ihrem Schmelzpunkt sublimieren oder verdampfen, je nach ihrem Dampfdruck.
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