Die Reinigung eines Sputter-Coaters ist entscheidend für die Aufrechterhaltung seiner Leistung und Langlebigkeit.
Hier finden Sie einen detaillierten Leitfaden, der Sie bei diesem Prozess unterstützt.
Wie reinigt man einen Sputter-Coater? - 3 wesentliche Schritte, um Ihre Ausrüstung in Topform zu halten
1. Sauberkeit der Arbeitskammer
Reinigung der Glaskammer: Verwenden Sie heißes Seifenwasser, um die Glaskammer gründlich zu reinigen.
Stellen Sie sicher, dass sie vollständig getrocknet ist.
Bei hartnäckigen Ablagerungen kann ein Küchenschwamm verwendet werden.
Vermeiden Sie die Verwendung von Lösungsmitteln, da diese unnötig sind und ein Gesundheits- und Sicherheitsrisiko darstellen.
Reinigung der Metalloberfläche: Reinigen Sie Metalloberflächen mit Isopropylalkohol.
Vermeiden Sie die Verwendung von Aceton, da es Gesundheits- und Sicherheitsrisiken birgt und eine längere Ausgasungszeit hat, die die Saugleistung beeinträchtigen kann.
2. Wartung des Vakuums
Vorbeugung gegen Rücksaugen: Trennen Sie immer die Vorvakuumpumpe von der Beschichtungsanlage, wenn die Kammer unter Vakuum steht.
Dies geschieht in der Regel durch ein manuelles Ventil.
Die Hochvakuum-Sputter-Coater von Quorum beispielsweise verfügen über eine "Pump-Hold"-Funktion, die das Vakuum aufrechterhält, wenn das Gerät nicht in Gebrauch ist, und so eine Verunreinigung durch Pumpenöl verhindert.
Systemtrockenheit und Vakuumniveau: Stellen Sie sicher, dass das System trocken ist und das richtige Vakuumniveau erreicht hat, bevor Sie mit dem Sputterprozess beginnen.
Dies trägt zu einer guten Sputterrate bei und verhindert Verunreinigungen.
Wartung der Pumpe: Ballastieren Sie die Rotationspumpen regelmäßig und warten Sie sie in regelmäßigen Abständen, um eine optimale Leistung zu erhalten.
3. Sputter-Reinigung
Physikalisches Sputtern: Physikalisches Sputtern im Vakuum, um die Oberfläche von Festkörpern von Verunreinigungen zu befreien.
Diese Methode wird häufig in der Oberflächenforschung, bei der Vakuumabscheidung und beim Ionenplattieren eingesetzt.
Achten Sie jedoch auf mögliche Probleme wie Überhitzung, Gaseinschlüsse, Oberflächenbeschädigung und Aufrauhung.
Stellen Sie sicher, dass das Plasma sauber ist, um eine erneute Kontamination während der Sputterreinigung zu vermeiden.
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