Zur Reinigung eines Sputter-Coaters führen Sie bitte die folgenden Schritte aus:
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Sauberkeit der Arbeitskammer:
- Reinigung der Glaskammer: Verwenden Sie heißes Seifenwasser, um die Glaskammer gründlich zu reinigen. Stellen Sie sicher, dass sie vollständig getrocknet ist. Bei hartnäckigen Verschmutzungen können Sie einen Scheuerschwamm aus der Küche verwenden. Vermeiden Sie die Verwendung von Lösungsmitteln, da diese unnötig sind und ein Gesundheits- und Sicherheitsrisiko darstellen.
- Reinigung der Metalloberfläche: Reinigen Sie Metalloberflächen mit Isopropylalkohol. Vermeiden Sie die Verwendung von Aceton, da es Gesundheits- und Sicherheitsrisiken birgt und die Ausgasungszeit länger ist, was die Saugleistung beeinträchtigen kann.
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Wartung des Vakuums:
- Vorbeugung gegen Rücksaugen: Trennen Sie immer die Vorvakuumpumpe von der Beschichtungsanlage, wenn die Kammer unter Vakuum steht. Dies geschieht in der Regel durch ein manuelles Ventil. Die Hochvakuum-Sputter-Coater von Quorum beispielsweise verfügen über eine "Pump-Hold"-Funktion, die das Vakuum aufrechterhält, wenn das Gerät nicht in Gebrauch ist, und so eine Verunreinigung durch Pumpenöl verhindert.
- Systemtrockenheit und Vakuumniveau: Stellen Sie sicher, dass das System trocken ist und das richtige Vakuumniveau erreicht hat, bevor Sie mit dem Sputterprozess beginnen. Dies trägt zu einer guten Sputterrate bei und verhindert Verunreinigungen.
- Wartung der Pumpe: Ballastieren Sie die Rotationspumpen regelmäßig und warten Sie sie in regelmäßigen Abständen, um eine optimale Leistung zu erhalten.
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Sputter-Reinigung:
- Physikalisches Sputtern: Physikalisches Sputtern im Vakuum zur Reinigung der Oberfläche von Festkörpern von Verunreinigungen. Diese Methode wird häufig in der Oberflächenforschung, bei der Vakuumabscheidung und beim Ionenplattieren eingesetzt. Achten Sie jedoch auf mögliche Probleme wie Überhitzung, Gaseinschlüsse, Oberflächenbeschädigung und Aufrauhung. Stellen Sie sicher, dass das Plasma sauber ist, um eine Rekontamination während der Sputterreinigung zu vermeiden.
Durch die Einhaltung dieser Reinigungs- und Wartungspraktiken kann die Leistung und Langlebigkeit des Sputterbeschichters erheblich verbessert werden.
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