Die Ablagerung kann entweder als physikalisch oder chemisch klassifiziert werden.
5 wichtige Punkte, die zu verstehen sind
1. Physikalische Abscheidung
Physikalische Abscheidung, auch bekannt als physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), umfasst die Verwendung mechanischer, elektromechanischer oder thermodynamischer Mittel zur Herstellung einer dünnen Schicht aus Feststoffen.
Beispiele für die physikalische Abscheidung sind Verdampfung, Sublimation und Sputtering.
Bei der physikalischen Abscheidung werden während des Herstellungsprozesses keine neuen Stoffe erzeugt.
Sie erfordert in der Regel eine Niederdruck-Dampfumgebung, um ordnungsgemäß zu funktionieren, und wird häufig im Hochvakuum oder UHV durchgeführt, um eine Verunreinigung durch die Umgebungsatmosphäre zu vermeiden.
Physikalische Abscheidungsmethoden werden bevorzugt, weil sie kontrollierte und reproduzierbare Schichteigenschaften wie Zusammensetzung, Dicke, Mikrostruktur und Haftung bieten.
2. Chemische Abscheidung
Bei der chemischen Abscheidung, die auch als chemische Gasphasenabscheidung (CVD) bezeichnet wird, werden chemische Reaktionen in der Gasphase durchgeführt.
Dazu gehören Verfahren wie chemische Badabscheidung, Galvanik, Molekularstrahlepitaxie und thermische Oxidation.
Bei den chemischen Abscheidungsmethoden werden alte Materialien verbraucht und neue Stoffe erzeugt.
Es kann ein inertes Trägergas verwendet werden und sogar bei Atmosphärendruck durchgeführt werden.
Die chemische Abscheidung ermöglicht die Abscheidung dünner Schichten mit gewünschten Eigenschaften, z. B. chemische, mechanische, elektrische oder optische Eigenschaften.
3. Anwendungen und Vorteile
Sowohl die physikalischen als auch die chemischen Beschichtungsverfahren haben ihre Anwendungen und Vorteile.
Die Wahl zwischen den beiden Verfahren hängt von verschiedenen Faktoren wie Kosten, Schichtdicke, Verfügbarkeit des Ausgangsmaterials und Kontrolle der Zusammensetzung ab.
In einer "umweltfreundlichen" Gesellschaft wird die physikalische Abscheidung aus der Gasphase wegen ihrer geringen Umweltbelastung häufig bevorzugt.
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