Der Druck eines Vakuumofens kann je nach Prozessphase und den spezifischen Anforderungen des Verfahrens erheblich variieren. Während der Erhitzungsphase wird der Druck in der Regel bei etwa 500 Mikron für Verfahren wie Powder Pneumatic (PP) oder unter 10^-4 Torr für Hochvakuumverfahren geregelt. Diese Kontrolle ist entscheidend, da der Druck mit steigender Temperatur und der Verflüchtigung von Verunreinigungen zunimmt. Weicht der Druck vom Sollwert ab, wird das Temperaturprogramm angehalten, bis der Druck korrigiert ist.
In der Abkühlphase wird der Ofen nach einem Hochtemperaturbad mit einem erhöhten Inertgasstrom und einer Kühlwasserzirkulation abgekühlt. Durch diese Abkühlung sinkt der Ofendruck, der dann je nach Verfahrenstyp zwischen 0,85 Barr und 10 Barr geregelt werden muss. Die Druckregelung während der Abkühlung ist für die Unversehrtheit und Qualität der behandelten Materialien von entscheidender Bedeutung.
Der Vakuumofen arbeitet mit reduziertem Druck, der durch eine Kombination von Pumpen, darunter eine Hochgeschwindigkeitsdiffusionspumpe und eine Drehschieberpumpe, erreicht wird. Der Basisdruck in der heißen Zone kann bei Raumtemperatur bis zu 1 x 10^-6 Torr betragen. Diese Niederdruckumgebung ist entscheidend für Prozesse, die eine minimale Oxidation oder Entkohlung erfordern, wie z. B. die Behandlung hochwertiger Metalle und Legierungen.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Druck in einem Vakuumofen sorgfältig kontrolliert wird und von sehr niedrigen Werten während der Aufheizphase bis zu etwas höheren Werten während der Abkühlphase variiert, um die optimalen Bedingungen für die jeweiligen Materialien und Prozesse zu gewährleisten.
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