Der thermische Prozess der Verdampfung ist ein Verfahren, bei dem ein Material durch Erhitzen auf eine Temperatur verdampft wird, bei der der Dampfdruck signifikant wird.
Bei diesem Prozess gehen Atome oder Moleküle von der Oberfläche des Materials im Vakuum verloren.
Das Material kann sich vor dem Verdampfen entweder in einem flüssigen oder festen Zustand befinden.
Die 5 wichtigsten Schritte werden erklärt
1. Erhitzen des Zielmaterials
Das Zielmaterial wird sehr hohen Temperaturen ausgesetzt, entweder durch Sublimation oder Sieden, um einen Dampf zu erzeugen.
2. Transportieren des Dampfes
Das verdampfte Material wird durch eine Vakuumumgebung zum Substrat transportiert.
3. Kondensation auf dem Substrat
Der Dampf kondensiert auf der Oberfläche des Substrats und bildet einen festen, dünnen Film.
4. Wiederholung des Prozesses
Der Abscheidungsprozess kann wiederholt werden, um weiteres Wachstum und Keimbildung der Dünnschicht zu erreichen.
5. Ausnutzung der Joule-Erwärmung
Das Verfahren beruht auf der Joule-Erwärmung eines Widerstandsbootes, um das Material bis zu seinem Verdampfungspunkt zu erhitzen, und dann wandern die verdampften Moleküle von der Quelle zum Substrat, um eine dünne Beschichtung zu bilden.
Die thermische Verdampfung ist aufgrund ihrer Einfachheit und Vielseitigkeit ein beliebtes Verfahren.
Es kann für die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien verwendet werden, darunter Aluminium, Silber, Nickel, Chrom und Magnesium, um nur einige zu nennen.
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