Unter Abscheidung versteht man in der Chemie die Erzeugung dünner oder dicker Schichten einer Substanz auf einer festen Oberfläche. Dies geschieht Atom für Atom oder Molekül für Molekül. Das Ergebnis ist eine Beschichtung, die die Eigenschaften der Oberfläche je nach Verwendungszweck verändert.
Was bedeutet Abscheidung in der Chemie? 5 wichtige Schritte zum Verständnis des Prozesses
1. Verdampfen einer flüchtigen Verbindung
Die abzuscheidende Substanz wird zunächst in ein Gas umgewandelt. Dies geschieht in der Regel durch Erhitzen der Verbindung, bis sie verdampft.
2. Thermische Zersetzung oder chemische Reaktion
Das Gas zerfällt dann in Atome und Moleküle. Es kann auch mit anderen Gasen, Dämpfen oder Flüssigkeiten auf der Oberfläche des Substrats reagieren. Dieser Schritt ist wichtig für die Bildung der richtigen chemischen Zusammensetzung des Films.
3. Abscheidung von nichtflüchtigen Reaktionsprodukten
Die Produkte dieser chemischen Reaktionen, die nicht flüchtig sind, lagern sich dann auf dem Substrat ab. Dadurch bildet sich ein dünner Film oder eine Beschichtung auf der Oberfläche.
4. Bildung der gewünschten chemischen Zusammensetzung
Die chemischen Reaktionen, die während der Abscheidung stattfinden, sind entscheidend für die Bildung der gewünschten Schichtzusammensetzung. Dadurch wird sichergestellt, dass die Beschichtung die richtigen Eigenschaften für die vorgesehene Anwendung aufweist.
5. Beseitigung von Nebenprodukten und nicht umgesetzten Vorläufersubstanzen
Nach der Filmbildung werden alle Nebenprodukte und nicht umgesetzten Materialien aus der Reaktionskammer entfernt. So bleibt der Prozess sauber und effizient.
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