Als Dünnschicht bezeichnet man in der Physik eine Materialschicht, die wesentlich dünner ist als ihre Länge und Breite und deren Dicke von Bruchteilen eines Nanometers bis zu mehreren Mikrometern reicht. Diese Filme weisen aufgrund ihrer Oberflächengeometrie einzigartige Eigenschaften und Verhaltensweisen auf und werden in verschiedenen wissenschaftlichen und technischen Anwendungen eingesetzt.
Definition und Dicke:
Ein dünner Film ist definiert als eine Materialschicht, deren Dicke (in der Regel zwischen einigen Nanometern und mehreren Mikrometern) viel geringer ist als ihre übrigen Abmessungen. Diese Dünnheit ist relativ und wird als "dünn" bezeichnet, wenn die Dicke in der gleichen oder einer geringeren Größenordnung im Vergleich zur intrinsischen Längenskala des zu messenden Systems messbar ist. Diese Definition hilft zu verstehen, wie sich die Eigenschaften dünner Schichten deutlich von denen des Massensubstrats unterscheiden.Herstellung und Abscheidung:
Dünne Schichten werden durch Abscheidung von Material auf einem Substrat in einer kontrollierten Umgebung hergestellt, wobei häufig Verfahren wie die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) eingesetzt werden. Beim PVD-Verfahren wird das Material in eine energiereiche Umgebung gebracht, so dass Partikel aus der Oberfläche entweichen und eine feste Schicht auf einer kühleren Oberfläche bilden. Dieser Prozess findet in der Regel in einer Vakuumbeschichtungskammer statt, um die Bewegung der Teilchen zu erleichtern. Die gerichtete Natur der physikalischen Abscheidung führt oft zu Schichten, die nicht konform sind.
Beispiele und Anwendungen:
Beispiele für dünne Schichten sind Seifenblasen und Metallschichten, die zu Dekorations- und Schutzzwecken verwendet werden. In der Technik sind dünne Schichten von entscheidender Bedeutung, da sie die Eigenschaften von Objekten, die sie beschichten, verändern können, z. B. durch Erhöhung der Haltbarkeit, Änderung der elektrischen Leitfähigkeit oder Verbesserung der optischen Eigenschaften. Die Industrie verlässt sich auf die präzise Atomlagenabscheidung, um hochreine dünne Schichten für verschiedene Anwendungen herzustellen.
Merkmale:
