Die Gleichmäßigkeit einer Folie bezieht sich auf die Konsistenz der Folieneigenschaften über ein Substrat hinweg, in erster Linie in Bezug auf die Foliendicke, aber auch auf andere Eigenschaften wie den Brechungsindex. Das Erreichen einer guten Gleichmäßigkeit ist entscheidend für die Qualität und Funktionalität der Folie in verschiedenen Anwendungen.
Gleichmäßigkeit der Schichtdicke:
Die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke ist ein entscheidender Aspekt der Schichtqualität. Sie misst, wie gleichmäßig die Schicht auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden wird. Bei der Sputter-Beschichtung werden die einfallenden Ionen mit Hilfe von Gasentladungsmethoden erzeugt. Der Arbeitsdruck in der Vakuumkammer, der normalerweise zwischen 10^-2 Pa und 10 Pa liegt, beeinflusst die Gleichmäßigkeit. Während des Sputterns stoßen die Ionen häufig mit Gasmolekülen zusammen, wodurch ihre Richtung zufällig abweicht. Diese Zufälligkeit in Verbindung mit der größeren Zielfläche, auf der das Sputtern stattfindet, führt im Allgemeinen zu einer gleichmäßigeren Abscheidung im Vergleich zu anderen Vakuumbeschichtungsverfahren. Dies ist besonders wichtig für Teile mit komplexen Geometrien, wie z. B. Hakennuten oder Stufen, bei denen die Gleichmäßigkeit die durch den Kathodeneffekt verursachten Unterschiede in der Schichtdicke minimieren kann.Andere Filmeigenschaften Gleichmäßigkeit:
Neben der Dicke kann sich die Gleichmäßigkeit auch auf die Konsistenz anderer Schichteigenschaften beziehen, wie z. B. den Brechungsindex. Der Brechungsindex ist eine optische Eigenschaft, die mit Techniken wie der Ellipsometrie gemessen werden kann. Er gibt Aufschluss über die Dichte, die Dielektrizitätskonstante und die Stöchiometrie der Schicht. Bei Siliziumnitridschichten beispielsweise ist ein Brechungsindex von 2,0 ideal. Abweichungen von diesem Wert können auf das Vorhandensein von Verunreinigungen oder Schwankungen in der Zusammensetzung der Schicht hinweisen, was sich auf ihre Leistung und Zuverlässigkeit auswirken kann.
Auswirkungen der Abscheidungsmethoden:
