Die physikalische Abscheidung ist ein Herstellungsverfahren, bei dem physikalische Methoden wie mechanische, elektromechanische oder thermodynamische Verfahren eingesetzt werden, um eine dünne Schicht aus festem Material zu erzeugen. Es beinhaltet keine chemischen Reaktionen oder die Herstellung neuer Substanzen. Beispiele für die physikalische Abscheidung sind die Bildung von Frost und die physikalische Dampfabscheidung (PVD).
Bei der chemischen Abscheidung hingegen kommt es zu chemischen Reaktionen und dem Verbrauch alter Materialien, was zur Herstellung neuer Stoffe führt. Die chemische Abscheidung aus der Gasphase (Chemical Vapor Deposition, CVD) ist eine besondere Art der chemischen Abscheidung, bei der das Gas des Ausgangsmaterials mit einer Vorläufersubstanz gemischt wird, um auf dem Substrat zu haften.
Ein wesentlicher Unterschied zwischen der physikalischen und der chemischen Abscheidung besteht in der Umgebung, in der sie durchgeführt werden. Die physikalische Abscheidung erfolgt in der Regel im Hochvakuum oder Ultrahochvakuum (UHV), um Verunreinigungen durch die Umgebungsatmosphäre zu vermeiden. Im Gegensatz dazu wird bei der chemischen Abscheidung häufig ein inertes Trägergas verwendet und kann bei Atmosphärendruck durchgeführt werden.
Ein weiterer Unterschied ist der Grad der Verschmutzung, der mit jedem Verfahren verbunden ist. Die physikalische Abscheidung aus der Gasphase verursacht fast keine Umweltverschmutzung und wird bei umweltfreundlichen Anwendungen bevorzugt. Bei der chemischen Abscheidung aus der Gasphase sind dagegen chemische Reaktionen und der Verbrauch von Materialien erforderlich, was zu Umweltverschmutzung führen kann.
Bei der Wahl zwischen physikalischer und chemischer Abscheidung sind Faktoren wie Kosten, Schichtdicke, Verfügbarkeit des Ausgangsmaterials und Kontrolle der Zusammensetzung zu berücksichtigen. Beide Verfahren können für verschiedene Anwendungen erfolgreich sein, und ein erfahrener Ingenieur kann auf der Grundlage dieser Faktoren das am besten geeignete Verfahren empfehlen.
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