Wenn es um die Herstellung dünner Schichten aus festen Materialien geht, werden häufig zwei Hauptmethoden diskutiert: die physikalische Abscheidung und die chemische Abscheidung.
Diese Methoden unterscheiden sich erheblich in der Art und Weise, wie sie diese dünnen Schichten herstellen.
Im Folgenden werden die wichtigsten Unterschiede zwischen physikalischer und chemischer Abscheidung erläutert.
5 Hauptunterschiede, die erklärt werden
1. Methode der Herstellung
Bei der physikalischen Abscheidung werden physikalische Methoden eingesetzt, um eine dünne Schicht aus einem festen Material herzustellen.
Diese Methoden können mechanische, elektromechanische oder thermodynamische Verfahren umfassen.
Bei der physikalischen Abscheidung sind keine chemischen Reaktionen oder die Bildung neuer Stoffe erforderlich.
Beispiele für die physikalische Abscheidung sind die Frostbildung und die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).
2. Beteiligung von chemischen Reaktionen
Bei der chemischen Abscheidung sind dagegen chemische Reaktionen und der Verbrauch alter Stoffe erforderlich.
Dieser Prozess führt zur Herstellung neuer Stoffe.
Die chemische Abscheidung aus der Gasphase (CVD) ist eine besondere Form der chemischen Abscheidung.
Bei der CVD wird das Gas des Ausgangsmaterials mit einer Vorläufersubstanz gemischt, die auf dem Substrat haftet.
3. Umweltbedingungen
Ein wesentlicher Unterschied zwischen der physikalischen und der chemischen Abscheidung ist die Umgebung, in der sie durchgeführt werden.
Die physikalische Abscheidung erfolgt in der Regel im Hochvakuum oder Ultrahochvakuum (UHV), um Verunreinigungen durch die Umgebungsatmosphäre zu vermeiden.
Im Gegensatz dazu wird bei der chemischen Abscheidung häufig ein inertes Trägergas verwendet und kann bei atmosphärischem Druck durchgeführt werden.
4. Grad der Verschmutzung
Ein weiterer Unterschied ist der Grad der Verschmutzung, der mit jedem Verfahren verbunden ist.
Die physikalische Abscheidung aus der Gasphase verursacht so gut wie keine Umweltverschmutzung und wird bei umweltfreundlichen Anwendungen bevorzugt.
Bei der chemischen Abscheidung aus der Gasphase sind dagegen chemische Reaktionen und der Verbrauch von Materialien erforderlich, was zu Umweltverschmutzung führen kann.
5. Zu berücksichtigende Faktoren
Bei der Wahl zwischen physikalischer und chemischer Abscheidung sind Faktoren wie Kosten, Schichtdicke, Verfügbarkeit des Ausgangsmaterials und Kontrolle der Zusammensetzung zu berücksichtigen.
Beide Methoden können für verschiedene Anwendungen erfolgreich sein.
Ein erfahrener Ingenieur kann auf der Grundlage dieser Faktoren die am besten geeignete Methode empfehlen.
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