Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein Verfahren, bei dem ein Substrat flüchtigen Vorläufersubstanzen ausgesetzt wird, die auf der Substratoberfläche reagieren und/oder sich zersetzen, um eine gewünschte Abscheidung zu erzeugen. Die bei der CVD verwendete Temperatur kann je nach Anwendung variieren.
Beim typischen CVD-Verfahren wird das Substrat einem oder mehreren flüchtigen Vorläufersubstanzen mit hohem Dampfdruck bei niedrigen Temperaturen von 373-673 K (100-400 °C) ausgesetzt. Bei diesen Vorläufern kann es sich um Chloride oder metallorganische Verbindungen handeln. Die niedrige Temperatur wird gewählt, um sicherzustellen, dass die Vorstufen in der Gasphase vorliegen und leicht auf der Substratoberfläche reagieren können, um die gewünschte Ablagerung zu bilden.
Bei anderen Anwendungen, wie der Destillation von Öl oder der Verdampfung von Lösungsmitteln in einem Rotationsverdampfer, werden höhere Temperaturen verwendet. In Kurzweg-Molekulardestillierapparaten mit gewischter Folie, die für die Öldestillation verwendet werden, können die Temperaturen beispielsweise bis zu 343 Grad Celsius (650 Grad Fahrenheit) erreichen. Der typische Destillationstemperaturbereich liegt bei 130-180 Grad Celsius (266-356 Grad Fahrenheit). Bei diesen Systemen wird das Ausgangsmaterial oder das Lösungsmittel an der Wand der Verdampfungskammer verteilt und es bildet sich ein dünner Film. Die flüchtigeren Bestandteile verdampfen und werden getrennt aufgefangen, während die gewünschte Verbindung in einer kühleren, temperaturgesteuerten zentralen Kondensatoreinheit aufgefangen wird. Der letzte Schritt im Prozess ist die Entfernung des Lösungsmittels, die in der Regel in einer separaten, externen Kühlfalle erfolgt, die ebenfalls temperaturgesteuert ist.
In einem Rotationsverdampfer wird zur Optimierung des Verdampfungsprozesses die Faustregel "Delta 20" verwendet. Nach dieser Regel ist die effektive Dampftemperatur etwa 20 Grad Celsius niedriger als die eingestellte Temperatur am Heizbad. Dies liegt daran, dass der Verdampfungsprozess Energie und Wärme aus dem Flüssigkeitsgemisch abgibt. Für eine effiziente Kondensation sollte die Kühltemperatur am Verflüssiger mindestens 20 Grad Celsius niedriger sein als die effektive Dampftemperatur.
Insgesamt kann die Temperatur bei der chemischen Gasphasenabscheidung je nach der spezifischen Anwendung und den verwendeten Vorläufern oder Verbindungen variieren. Es ist wichtig, die richtige Temperatur zu wählen, um sicherzustellen, dass der gewünschte Abscheidungs- oder Verdampfungsprozess effektiv durchgeführt wird.
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