Bei den Verfahren PVD (Physical Vapor Deposition) und CVD (Chemical Vapor Deposition) spielen bestimmte Katalysatoren eine entscheidende Rolle.
4 wichtige Punkte über Katalysatoren in PVD- und CVD-Verfahren
1. Häufig verwendete Katalysatoren
Die bei diesen Verfahren üblicherweise verwendeten Katalysatoren sind Kobalt, Eisen, Nickel und deren Legierungen.
2. Rolle bei der Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren
Diese Katalysatoren werden häufig bei der Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren durch CVD-Verfahren verwendet.
3. Verschiedene CVD-Aktivierungswege
Bei der CVD können verschiedene Aktivierungsverfahren eingesetzt werden, z. B. CVD mit Plasmabrennern, chemische Gasphasenabscheidung mit heißen Fäden (HFCVD) und chemische Gasphasenabscheidung mit Mikrowellenplasma (MPCVD).
4. Wachstum von Diamantfilmen
Mit diesen Verfahren lassen sich je nach gewünschter Anwendung Diamantschichten unterschiedlicher Qualität auf verschiedenen Substraten erzeugen.
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