Die Katalysatoren, die bei der PVD- (Physical Vapor Deposition) und CVD-Technik (Chemical Vapor Deposition) verwendet werden, sind Kobalt, Eisen, Nickel und deren Legierungen. Diese Katalysatoren werden in der Regel bei der Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren durch CVD-Verfahren verwendet [10, 11]. Bei der CVD können verschiedene Aktivierungsverfahren eingesetzt werden, z. B. die CVD mit Plasmabrennern, die chemische Gasphasenabscheidung mit heißen Fäden (HFCVD) und die chemische Gasphasenabscheidung mit Mikrowellenplasma (MPCVD) [10]. Mit diesen Verfahren lassen sich je nach gewünschter Anwendung Diamantschichten unterschiedlicher Qualität auf verschiedenen Substraten erzeugen [10].
Bei der PVD unterscheidet sich die Technik von der CVD, da feste Ausgangsmaterialien mit Atomen beschossen und diese Atome auf Substraten abgeschieden werden, anstatt Gasmoleküle zur Abscheidung fester Schichten zu verwenden [29]. Daher werden bei PVD in der Regel keine Katalysatoren in der gleichen Weise wie bei CVD verwendet.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die bei der CVD-Technik, einschließlich PVD- und CVD-Verfahren, verwendeten Katalysatoren Kobalt, Eisen, Nickel und deren Legierungen sind. Diese Katalysatoren spielen eine entscheidende Rolle für das Wachstum von Kohlenstoffnanoröhren und die Abscheidung hochwertiger Diamantschichten.
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