Für die Abscheidung von Graphen aus Kupfer gibt es mehrere Methoden, die angewendet werden können:
1. Chemisches Ätzen: Bei einer Methode wird eine unterstützende Polymerschicht, wie Polymethylmethacrylat (PMMA), auf das Graphen aufgebracht. Das PMMA-beschichtete Graphen wird dann bei einer bestimmten Temperatur gebacken, damit das Lösungsmittel verdampft. Anschließend wird das Kupfersubstrat mit einem Ätzmittel aus Kupfer (oder einem anderen katalytischen Metall) entfernt, so dass die Graphen/PMMA-Schicht zurückbleibt. Der Film wird dann mit deionisiertem Wasser gereinigt und auf das gewünschte Substrat übertragen. Schließlich wird das PMMA mit Aceton entfernt, nachdem der Wasserdampf verdunstet ist, so dass nur der Graphenfilm auf dem Zielsubstrat zurückbleibt.
2. Elektrochemische Delaminierung: Eine weitere Methode besteht darin, die Graphenschicht elektrochemisch vom Kupfersubstrat abzulösen. Dies kann durch die Einlagerung einer Kupferoxidschicht zwischen dem Graphen und dem Kupfersubstrat während der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) erfolgen. Die Kupferoxidschicht wirkt als schwache Barriere, die den hydrostatischen Druck zwischen dem Graphen und dem Kupfersubstrat verringert und so ein leichteres Ablösen der Graphenschicht ermöglicht.
3. Gelöste Substratübertragung: Bei dieser Transfermethode wird das Substrat mit einem Ätzmittel aufgelöst, um den Graphenfilm abzutrennen. Dazu kann ein katalytisches Metallsubstrat, z. B. Kupfer, verwendet werden, das mit einem geeigneten Ätzmittel aufgelöst wird, wobei die Graphenschicht zurückbleibt. Die Methode der aufgelösten Substratübertragung ist kostengünstig, da das Substrat wiederverwendet werden kann.
4. Getrennter Substrattransfer: Bei dieser Transfermethode wird die Graphenschicht mechanisch oder elektrochemisch vom Substrat getrennt. Dies kann durch Aufbringen eines Trägerfilms auf das Graphen und anschließendes mechanisches Abziehen vom Substrat geschehen. Alternativ können auch elektrochemische Verfahren zur Trennung der Graphenschicht vom Substrat eingesetzt werden. Die Übertragung eines getrennten Substrats ist außerdem kostengünstig, da das Substrat wiederverwendet werden kann.
Zusätzlich zu diesen Methoden erforschen und entwickeln die Wissenschaftler ständig neue Techniken, um den Übertragungsprozess zu verbessern und Graphen von höherer Qualität zu erzeugen. So kann beispielsweise die Behandlung des Kupfersubstrats vor dem Graphenwachstumsprozess dazu beitragen, die katalytische Aktivität zu verringern und die Oberflächenmorphologie zu verbessern, was zu Graphenflocken mit weniger Fehlern führt.
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